Контроль микроэлектронных устройств методом критических питающих напряжений
Рассматривается информационно-измерительная система контроля индивидуальных свойств микроэлектронных устройств, реализующая метод критических питающих напряжений.
Ключевые слова: критические питающие напряжения, сигнатурный анализатор, контроль качества БИС, частотная характеристика.
