Моделирование теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии
Проведено моделирование нестационарных тепловых полей, возникающих при взаимодействии электронных пучков растрового электронного микроскопа с исследуемыми образцами. Представлено обобщенное решение задачи о влиянии сфокусированных источников тепла различных конфигураций. Рассчитаны температурные поля при заданных теплофизических характеристиках образца и параметрах эксперимента для различных типов растрового электронного микроскопа.
Ключевые слова:
